| 1. Identificação | ||||||||||
| Tipo de Referência | Tese ou Dissertação (Thesis) | |||||||||
| Site | mtc-m21d.sid.inpe.br | |||||||||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||||||||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34T/48CSA4E | |||||||||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21d/2023/01.17.13.32 | |||||||||
| Última Atualização | 2023:02.13.17.53.49 (UTC) simone | |||||||||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21d/2023/01.17.13.32.14 | |||||||||
| Última Atualização dos Metadados | 2023:03.13.16.42.23 (UTC) simone | |||||||||
| Chave Secundária | INPE-18646-TDI/3277 | |||||||||
| Chave de Citação | SilvaNeto:2023:EsFoCa | |||||||||
| Título | Estudos de formação de camadas homoepitaxiais de diamante CVD crescidas via descarga em plasma de microondas em 2,45ghz de alta potência com adição de enxofre  | |||||||||
| Título Alternativo | Studies on the formation of cvd diamond homoepitaxial layers grown via high power microwave plasma discharge at 2.45GHz with addition of sulfur | |||||||||
| Curso | CMS-ETES-DIPGR-INPE-MCTI-GOV-BR | |||||||||
| Ano | 2023 | |||||||||
| Data | 2022-11-29 | |||||||||
| Data de Acesso | 11 maio 2024 | |||||||||
| Tipo da Tese | Tese (Doutorado em Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores) | |||||||||
| Tipo Secundário | TDI | |||||||||
| Número de Páginas | 69 | |||||||||
| Número de Arquivos | 2 | |||||||||
| Tamanho | 3126 KiB | |||||||||
| 2. Contextualização | ||||||||||
| Autor | Silva Neto, José Vieira da | |||||||||
| Banca | Trava-Airoldi, Vladimir Jesus (presidente/orientador) Machado, João Paulo de Barros Oliveira, Rogério de Moraes Mineiro, Sergio Luiz Martins, Gislene Valdete Fraga, Mariana Amorim | |||||||||
| Endereço de e-Mail | jvneto.ifsp@gmail.com | |||||||||
| Universidade | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||||||||
| Cidade | São José dos Campos | |||||||||
| Histórico (UTC) | 2023-01-17 13:33:07 :: jvneto.ifsp@gmail.com -> administrator :: 2023-01-19 16:37:01 :: administrator -> pubtc@inpe.br :: 2023-01-19 16:37:32 :: pubtc@inpe.br -> administrator :: 2023-02-13 14:40:29 :: administrator -> pubtc@inpe.br :: 2023-02-17 20:08:38 :: pubtc@inpe.br -> simone :: 2023-02-17 20:19:29 :: simone :: -> 2022 2023-02-17 20:19:47 :: simone -> administrator :: 2022 2023-03-13 16:41:50 :: administrator -> simone :: 2022 2023-03-13 16:42:23 :: simone :: 2022 -> 2023 2023-03-13 16:42:23 :: simone -> :: 2023 | |||||||||
| 3. Conteúdo e estrutura | ||||||||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | |||||||||
| Estágio do Conteúdo | concluido | |||||||||
| Transferível | 1 | |||||||||
| Palavras-Chave | diamante CVD homoepitaxia monocristal plasma dopagem tipo N (S) CVD Diamond single crystal omoepitaxy plasma N type doping (S) | |||||||||
| Resumo | O diamante sintético obtido via técnicas CVD (do Inglês Chemical vapor Deposition) tem sido muito estudado tanto do ponto de vista científico como tecnológico, pelas semelhanças de suas propriedades quando comparado ao diamante natural. Entretanto, apenas recentemente sua investigação atraiu relevante interesse devido ao apelo cientifico na compreensão da origem das impurezas e defeitos relacionados à natureza da estrutura monocristalina, e também a compreensão do papel de diferentes dopagens, tipo P e tipo N, qualificando-o para aplicações em microeletrônica, sensores especiais, entre outros. Neste trabalho é proposto o estudo dos efeitos do crescimento de diamante CVD monocristalino com enxofre adicionado à mistura convencional dos gases utilizando-se diferentes precursores do elemento. Foram aplicadas técnicas de caracterização disponíveis no INPE como difratometria de raios-X de alta resolução, espectroscopia de infravermelho com transformada de Fourier e principalmente espectroscopia Raman e de fotoluminescência para verificar a formação de centros de cor, taxas de crescimento e estrutura cristalina e pôdese observar que camadas homoepitaxiais de boa qualidade química e estrutural foram obtidas para diferentes concentrações de metano adicionadas a mistura de gases contendo o precursor de enxofre. O desenvolvimento deste trabalho também envolveu a criação de metodologia, pela primeira vez na equipe de pesquisa DIMARE do COPDT/INPE e que não é ostensiva na literatura, para a homoepitaxia de diamante por CVD desde o controle do reator de plasma de micro-ondas até a definição de parâmetros de deposição. Este desenvolvimento envolveu a solução de diversos desafios relacionados ao crescimento epitaxial de diamante, a partir do sistema de cavidade ressonante disponível, melhorias e modificações foram implementadas para obter controle contínuo de temperatura por períodos prolongados através de um sistema de microposicionamento e circuito fechado de refrigeração a água e também foi implementado um sistema de prevenção de quedas de energia para que o sistema de deposição não desligasse em casos de flutuações na rede elétrica. ABSTRACT: Synthetic diamond obtained via CVD (Chemical Vapor Deposition) techniques has been much studied both from a scientific and technological approaches, due to the similarities of its properties when compared to natural diamond. However, only recently its investigation has attracted relevant interest due to the scientific appeal in understanding the origin of impurities and defects related to the nature of the single crystalline structure, and also the understanding of the role of P-type and N-type dopings, qualifying it for applications in microelectronics, special sensors, among others. This work proposes the study of the effects of single crystalline CVD diamond growth with sulfur added to the conventional mixture of gases. The characterization techniques available at INPE such as high resolution X-ray diffraction, Fourier transform infrared spectroscopy and mainly Raman and photoluminescence spectroscopies were employed to determine the formation of color centers, growth rates and crystal structure and homoepitaxial layers of good chemical and structural quality were obtained for different concentrations of methane in the gas mixture with the added sulfur precursor. The development of this work also involved the creation of a methodology, for the first time in the DIMARE of COPDT/INPE team and which is not conspicuous in the literature, for the homoepitaxy of diamond by CVD, from the control of the microwave plasma reactor to the definition of deposition parameters. Such development involved the solution of several challenges related to the epitaxial growth of diamond, different subsystems were implemented to the available resonant cavity system with other improvements and modifications to obtain continuous temperature control for extended periods through the design of a micropositioning system, water cooling closed circuit and power supply infrastructure to prevent the system shutdown due to electrical network fluctuations. | |||||||||
| Área | ETES | |||||||||
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Estudos de formação... | |||||||||
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGCE > Estudos de formação... | |||||||||
| Arranjo 3 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGIP > Estudos de formação... | |||||||||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | |||||||||
| Conteúdo da Pasta source |
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| Conteúdo da Pasta agreement |
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| 4. Condições de acesso e uso | ||||||||||
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34T/48CSA4E | |||||||||
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34T/48CSA4E | |||||||||
| Idioma | pt | |||||||||
| Arquivo Alvo | publicacao.pdf | |||||||||
| Grupo de Usuários | jvneto.ifsp@gmail.com simone | |||||||||
| Visibilidade | shown | |||||||||
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.10 | |||||||||
| Detentor dos Direitos | originalauthor yes | |||||||||
| Permissão de Leitura | allow from all | |||||||||
| Permissão de Atualização | não transferida | |||||||||
| 5. Fontes relacionadas | ||||||||||
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2021/06.04.03.40.25 | |||||||||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3F358GL 8JMKD3MGPCW/46KTFK8 8JMKD3MGPCW/46KUES5 | |||||||||
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/10.14.21.39 2 | |||||||||
| Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2021/06.04.03.40 | |||||||||
| 6. Notas | ||||||||||
| Campos Vazios | academicdepartment affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination doi electronicmailaddress format group isbn issn label lineage mark nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress readergroup resumeid schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype | |||||||||